Sie sind hier: HomeTECHNOLOGIEPVD

Messen

PSE, Garmisch-Partenkirchen, Deutschland
17.09. – 21.09.2018


MWCS, Shanghai, VR China
19.09. – 23.09.2018


News

Markteinführung der xPro4C


2017 – ein Jahr großer Herausforderungen

TECHNOLOGIE

PVD (Physical Vapor Deposition)

PVT gilt als einer der Pioniere der Hartstoffbeschichtung mittels PVD-Verfahren, insbesondere unter Einsatz der großflächigen Lichtbogenverdampfung.

Der Verfahrensablauf gestaltet sich so, dass die zuvor wässrig gereinigten Teile in die Vakuumkammer eingebracht werden. Sodann läuft der vollautomatisierte Beschichtungsprozess mit folgenden Schritten ab:

Nach dem Belüften der Vakuumkammer können die beschichteten Teile der Kammer entnommen werden. Die Beschichtung selbst erfolgt dadurch, dass das Beschichtungsmaterial mittels Lichtbogenverdampfung oder Magnetronzerstäuben in die Dampfphase überführt oder direkt als Gas in die Vakuumkammer eingebracht wird.


Lichtbogenverdampfung (Arc-Verdampfung)

Bei der Lichtbogenverdampfung bewegt sich ein von einem Magnetfeld geführter Lichtbogen gezielt über das Beschichtungsmaterial (z.B. Ti, AlTi, AlCr, TiSi, usw.) und verdampft dieses, wobei eine nahezu hundertprozentige Ionisierung der Dampfteilchen erfolgt. Diese verbinden sich mit den in die Vakuumkammer eingeführten Reaktivgasen, z.B. Ti + N (Stickstoff) > TiN (Titannitrid). Infolge der hohen Teilchenenergien und der hohen Streufähigkeit erfolgt eine äußerst haftfeste und gleichmäßige Beschichtung auch komplexgeometrischer Substrate (Bauteile und Werkzeuge) mit Unterstützung von einfacher-, zweifacher- und dreifacher Rotation selbiger.

Je nach Anwendung setzten wir verschiedene Prozesse ein, d.h. die Verdampfung kann im

bei unterschiedlich hohen Verdampferleistungen umgesetzt werden, wobei die Substrate sowohl mit

versorgt werden.

Ziel der Prozessführung ist es immer den Lichtbogen gleichmäßig verteilt über das Target zu bewegen um die Anzahl und Größe der Mikrodroplets zu kontrollieren und zu minimieren und gleichzeitig die Targetausnutzung zu maximieren.

Hierfür haben wir die PDA (Plasma Diffused Arc)- und HiParc (High Power Pulsed Arc)-Verfahren entwickelt, bei welchen zum einen der Lichtbogen sehr stark aufgespalten wird und zum anderen mit einem gepulsten Hochleistungslichtbogen gearbeitet wird. Das Verfahren ist in untenstehender Prinzipskizze dargestellt.


Magnetronzerstäubung (Magnetronsputtern)

Beim Magnetronzerstäuben (kurz: Sputtering) erfolgt die Überführung des Beschichtungsmaterials in die Dampfphase indem durch eine Argon-Glimmentladung (Argon-Plasma) vor dem Target (Beschichtungsmaterial) durch dessen Beschuss mit ionisierten Argon-Ionen Materialteilchen herausgelöst werden, dies teilweise selbst ionisiert werden und auf dem elektrisch negativ vorgespannten Substrat anlagern als auch Verbindungen mit dem Reaktivgas, z.B. Stickstoff, eingehen. Aufgrund des niedrigen Energiezustands und der geringen Streufähigkeit des Verfahrens ist der Abstand zwischen der Magnetronsputterquelle und dem Substrat sehr gering. Je nach Verfahren kann beim Magnetronzerstäuben eine Mikrodropletbildung vermieden werden. Das Verfahren ist in untenstehender Prinzipskizze dargestellt.

Impressum Datenschutz

© 2018 PVT Plasma und Vakuum Technik GmbH

Impressum

Verantwortlich:

PVT Plasma und Vakuum Technik GmbH

Rudolf-Diesel-Strasse 7
64625 Bensheim, Germany

Geschäftsführer:

Dr. Ing. H. M. Gabriel

Amtsgericht Bensheim, HRB 25581

USt-ID DE 165045155

Fotos:

Die Fotorechte liegen bei PVT Plasma und Vakuum Technik GmbH. Weitergabe, Speichern, Kopieren und sonstiges Verwenden sind nur mit schriftlicher Genehmigung erlaubt. Bei Fragen, wenden Sie sich bitte an die Redaktion.

Haftungsausschluß:

Alle Angaben werden sorgfältig überprüft. Trotzdem kann keine Haftung, insbesondere für Zahlenangaben übernommen werden.
Für Websites Dritter, auf die der Herausgeber durch sogenannte Links verweist, tragen die jeweiligen Anbieter die Verantwortung. Der Herausgeber ist für den Inhalt solcher Sites Dritter nicht verantwortlich. Des weiteren kann die Website des Herausgebers ohne dessen Wissen von anderen Websites mittels sogenannter Links angelinkt werden. Der Herausgeber übernimmt keine Verantwortung für Darstellungen, Inhalt oder irgendeine Verbindung zur Parteigliederung des Herausgebers in Websites Dritter. Für fremde Inhalte ist der Herausgeber nur dann verantwortlich, wenn er von ihnen (d.h. auch von einem rechtswidrigen oder strafbaren Inhalt) positive Kenntnis hat und es dem Herausgeber technisch möglich und zumutbar ist, deren Nutzung zu verhindern. Der Herausgeber ist nach dem Teledienstgesetz jedoch nicht verpflichtet, die fremden Inhalte ständig zu überprüfen.

Konzeption und Gestaltung:
formsprache. industriedesign
 (Darmstadt)
rosagelb
 (Frankfurt)


Datenschutzerklärung


Die PVT Plasma und Vakuum Technik GmbH freut sich über Ihren Besuch auf unserer Webseite und Ihr Interesse an unserem Unternehmen sowie unseren Produkten und Dienstleistungen.

Wir legen großen Wert auf den Schutz und die Sicherheit Ihrer personenbezogenen Daten. Aus diesem Grund werden bei der Nutzung dieser Internetseite grundsätzlich keine Daten von uns erfasst, die Rückschluss auf Ihre Person zulassen. Da wir das Thema Datenschutz sehr ernst nehmen, möchten wir Sie im folgenden zugleich darüber informieren, welche anonymisierten technischen Informationen wir während Ihres Aufenthalts auf der PVT-Webseite erheben und wie diese genutzt werden.

Unsere Kontaktdaten finden Sie im Impressum.

 

Datenschutzbeauftragter

Verantwortlich für alle Fragen zum Datenschutz in unserem Unternehmen ist Herr Dr. Herbert M. Gabriel. Bitte richten Sie Ihre Anliegen zum Thema „Datenschutz bei PVT“ an folgende E-Mail-Adresse: h.gabriel@pvtvacuum.de

 

Erfassung von Informationen

Wenn Sie auf unsere Webseite zugreifen, werden automatisch technische Informationen erfasst, sogenannte Server-Logfiles. Diese Daten umfassen Informationen wie die IP-Adresse des anfragenden Rechners, Datum und Uhrzeit des Zugriffs, Name und URL der abgerufenen Datei, Angaben zum verwendeten Browser und des Betriebssystems Ihres Rechners sowie gegebenenfalls den Namen Ihres Internet-Service-Providers. Hierbei handelt es sich ausschließlich um Informationen, welche keine Rückschlüsse auf Ihre Person zulassen. Diese Daten verwenden wir bei Bedarf dazu um Fälle des Missbrauchs der PVT- Webseite entdecken, nachvollziehen und abstellen zu können, sowie zur Erfüllung gesetzlicher Pflichten und/oder Wahrung rechtlicher Ansprüche (z.B. um Herausgabeansprüche von Sicherheitsbehörden auf Grundlage entsprechender nationaler oder internationaler Gesetze oder anderer Vorschriften erfüllen zu können.) Rechtsgrundlage für diese Verarbeitung sind Art. 6 Absatz 1 Buchstabe f („Wahrung der berechtigten Interessen“ von PVT) und Art. 6 Absatz 1 Buchstabe c („Erfüllung einer rechtlichen Verpflichtung“) der Datenschutz-Grundverordnung (DSGVO).

 

Verwendung von Cookies

Auf unserer Webseite verwenden wir sogenannte Session-Cookies, die Daten zur technischen Sitzungssteuerung im Speicher Ihres Browsers ablegen. Diese Cookies speichern keinerlei personenbezogene Daten und verlieren ihre Bedeutung mit dem Verlassen unserer Webseite. Die von uns eingesetzten Cookies dienen dem Zweck eine hohe Benutzerfreundlichkeit beim Besuch unseres Internetauftritts zu garantieren. Dabei werden lokale Spracheinstellungen abgerufen, um die Seite entsprechend anzupassen. Diese Cookies werden spätestens mit dem Schließen Ihres Browsers wieder gelöscht.

Wir weisen darauf hin, dass Internet-Browser regelmäßig so eingestellt sind, dass sie Cookies akzeptieren. Sie können die Verwendung von Cookies jedoch jederzeit über die Einstellungen Ihres Browsers deaktivieren. Bitte beachten Sie, dass einzelne Funktionen unserer Webseite möglicherweise nicht funktionieren, wenn Sie die Verwendung von Cookies deaktiviert haben.

 

Verwendung von Google Maps

Unsere Webseite verwendet Google Maps API, um die geographische Lage unseres Unternehmenssitzes sowie jene unserer Tochterunternehmen visuell darzustellen. Bei der Nutzung von Google Maps werden von Google LLC auch Daten über die Nutzung der Kartenfunktionen durch Besucher erhoben, verarbeitet und genutzt. Nähere Informationen über die Datenverarbeitung durch Google LLC können Sie den Google LLC-Datenschutzhinweisen entnehmen. Dort können Sie im Datenschutzcenter auch Ihre persönlichen Datenschutz-Einstellungen verändern.

 

Änderung unserer Datenschutzbestimmungen

Wir behalten uns vor, diese Datenschutzerklärung bei Bedarf anzupassen, damit sie stets den aktuellen rechtlichen Anforderungen entspricht oder um Änderungen unserer Leistungen in der Datenschutzerklärung umzusetzen, z. B. bei der Einführung neuer Angebote. Für Ihren erneuten Besuch gilt dann die jeweils aktuelle Datenschutzerklärung.